Năm 1926, Sườn núi và khu đất bằng khoảng 10 mẫu, khởi đầu mang tên Vũng Mây, do ông Lê Hữu Lương, một giáo dân giáo xứ Vũng Tàu, ghi danh khai thác với nhà nước từ ngày 9 tháng 4 năm 1926. Liền sau đó (14.4.1926) ông Lương chuyển lại cho ông bà Nguyễn Hồng Ân quen gọi là Vệ Ân (quốc tịch Pháp, chức vệ úy). Cũng năm 1926, ông bà Vệ Ân xây nhà nguyện đá, bên cạnh là “kim tĩnh” mong sau này được chôn cất tại đó (nhưng sau này hai ông bà dời đi Bà Rịa và qua đời ở đấy).
Ngày 1 tháng 12 năm 1927, ông bà Nguyễn Hồng Ân dâng nhà nguyện và đất đai cho hội Thừa Sai Paris. Hồi ấy, Vũng Mây còn là rừng rậm, khỉ ho cò gáy, ít người dám lui tới, cọp đôi khi còn về tìm mồi, khỉ thường chạy tung tăng chặn lối đi. Đến sau các cha thừa sai cho phá rừng, trồng dâu nuôi tằm, để tạo công ăn việc làm cho một số bà con ở đây: Bãi Dâu, tên có từ đấy.
Năm 1962, chính năm khai mạc thánh Công Đồng Vaticanô II, tháng 10 năm 1962 tại Bãi Dâu Vũng Tàu, cha chính xứ kiêm quản hạt Phaolô Nguyễn Minh Tri xây dựng tượng đài Đức Mẹ Ban Ơn lành cao 7 mét trên sườn núi.
Năm 1963, Đức Cha Phaolô Nguyễn Văn Bình, Tòa Giám Mục Sài-Gòn làm phép khánh thành Tượng Đài Đức Mẹ Ban Ơn.
Ngày 04.10.1965 Giáo Phận Xuân Lộc được thành lập. Đức Cha Giuse Lê Văn Ấn, Giám mục tiên khởi, đã chính thức công bố Bãi Dâu là trung tâm Thánh Mẫu của Giáo Phận Xuân Lộc, ngài cho cất 14 đàng Thánh giá, xây nhà nghỉ mát, và đã nhiệt tình tổ chức các cuộc hành hương trọng thể kính Đức Mẹ Maria. Nhiều người giáo dân trong Giáo Phận không bao giờ quên được cuộc cung nghinh Đức Mẹ của toàn giáo phận vào tháng 5.1973. Hằng mấy chục ngàn người và hằng trăm ghe thuyền lớn nhỏ tuốn về Bãi Dâu cử hành một cuộc rước kiệu lớn nhất lúc bấy giờ để tôn vinh Đức Mẹ. Các vị Giám Mục kế nhiệm tiếp nối làm cho Bãi Dâu càng ngày càng thu hút nhiều người về hành hương kính Đức Mẹ.
Năm 1992, ngày đầu năm, kính Đức Mẹ Thiên Chúa, Đức Cha Phaolô Maria Nguyễn Minh Nhật, Giám Mục Xuân Lộc đặt viên đá trùng tu trung tâm hành hương. Tuợng đài đuợc thay thế bằng tuợng Ðức Mẹ Thiên Chúa cao 25 mét, kể cả Chúa Con 27,5 mét.
Năm 1994, Tượng Đức Maria Mẹ Thiên Chúa đã được làm phép và khánh thành ngày 31.12.1994, với sự chủ lễ của Đức Giám Mục Xuân Lộc Phaolô Maria Nguyễn Minh Nhật. Sau này, nhà nguyện đá đuợc di chuyển xuống chân núi, nhuờng chỗ cho một nhà thờ mái vòm có sức chứa 1 (một) ngàn nguời, đã duợc kiến thiết. Mặt bằng phía duới đã đuợc cải tạo, thành một công truờng có khả năng chứa 100 (một trăm) ngàn nguời. Tượng Đức Mẹ Ban Ơn đã bao năm đứng bên bờ đại dương được tháo gỡ và đưa về đài mới tại Giáo Xứ Sao Mai, ngày 10.03.1995 và khách hành hương vẫn còn đưa bước về Sao Mai kính Mẹ Ban Ơn lành. Ngày nay, người người tìm về Bãi Dâu để cầu nguyện và kính viếng đất Mẹ càng ngày càng đông.